泰克Keithley 6400 系列皮安表
经济实惠的 5½ 位 6485 型皮安表可以测量 10fA 至 20mA 的电流，速度高达每秒 1000 个读数。6487 型皮安表/电压提供比 6485 更高的精度和更快的上升时间、一个 500V 源以及一种与电容设备配合使用的阻尼功能。6482 型双通道皮安表/电压源提供比 6485 型或 6487 型更高的测量分辨率和双独立 30V 电压偏置源。
特点 | 优势 |
| 电流分辨率低至 1fA (6482) | 可测量元器件中的超低漏电流、光学器件中的暗电流以及显微仪器中的射束电流。 |
| 输入端压降低至 200μV | 可以进行高精度电流测量，即使在源电压非常低的电路中也可以测量。 |
| 双通道测量 (6482) | 简化了分析多通道设备、监视材料上多个位置的电流以及一次性记录来自多个传感器的数据的过程。 |
| 有 0、1 或 2 个内置电压源可供选择 | 确保您可以找到适合应用要求的电压偏置功能。 在 6487 型皮安表/电压源中通过 500V 源进行绝缘电阻测试。 |
| 内置模拟输出 | 允许将测量结果传输到数字万用表、数据采集卡、示波器或带形图纸记录仪等设备，以进行信号响应和趋势分析。 |
| 测量高达 20mA 的电流 | 支持测量高电流，比如测量 4-20mA 传感器回路。 |
| 最高每秒 1,000 个读数 | 支持高吞吐量生产测试需求。 |
| 内置触发链路接口 | 简化了通过将六个独立可选的触发线路结合在一个单一的连接器上，对系统中的所有仪器进行简单、直接的控制，从而实现与其他仪器和电压源同步的过程。 |
6482型双通道皮安表/电压源提供两个 独立的皮安表/电压源通道，适合需要双通 道测量的多种低电平测量应用。该产品在 测量能力已被证明的吉时利6485型5位半皮 安表的基础上，提高了测量分辨率，增加 了一个第二测量通道以及两个独立的30V电 压偏置源。
由于具有双通道测量能力，6482型双 通道皮安表/电压源成为一个强大的测量 工具，适合分析多通道器件，监控材料中 多个位置的电流，并立即记录来自多传感 器的数据。双通道能力更容易实现控制和 数据聚集。更高的通道密度增加了受限空 间内的仪器数量（和通道）。
主要特点:
双通道6位半测量能力
双±30V偏置电源
测量电流高达20mA
测量电流分辨率1fA
0–10V模拟输出用于高分辨率 测量反馈
支持装配工艺、最终测试、部件 binning和技术规范
每通道具3000点缓存，支持测试 完成后数据发送
触发连接，用于器件进仓与扫描 测试操作
IEEE-488与RS-232接口
应用
制造元器件测试
双二极管测试
半导体器件测试
多引脚器件测试
离子束监测
电子显微镜
可编程限幅和滤波器
与吉时利绝大部分仪器一样，对于6482型双通道皮安表/电压源的电流和电压 极限限幅，可以进行编程，以确保关键点（如测试开始）期间的器件保护。这些仪 器还提供均值与中值滤波器，可以用于将数据存储在缓存中。
比率测量或σ测量
6482型双通道皮安表/电压源可以在两个完全隔离的通道之间提供比例测量或 σ测量。通过前面板或GPIB接口可以接入这些功能。对于包括多个探头的测试设 置，这个功能支持目标控制能力。
扩展测试和测量灵活性的特点
• 按比例的电压模拟输出。此输出允许6482型皮安表将测量结果发送至数字多用 表（DMM）、数据采集板、示波器或长图记录仪等设备。
• 220V过载保护。高负载保护和坚固设计能让6482型皮安表耐受过量溢出。
• 一键式前面板设计。按一次按钮就能轻松配置功能，无需复杂的功能菜单。
• 内建触发链路接口。触发链路接口简化了6482型皮安表与其它仪器及电压源的 同步。此接口在单个连接器上结合了6种单独可选的触发线路，以实现轻松、 直接地控制系统中的全部仪器。
• RS-232和IEEE-488接口。这些接口能轻松将6482型皮安表集成进自动测试和测 量系统中。
• 显示on/off开关。对于光敏器件的研究，如测量光电二极管的暗电流，可以关 闭前面板显示，以防引入光线而导致测量结果准确性大幅降低。
• REL和LOG功能。6482型皮安表能针对基线值进行相对读数，或者显示测量电流 绝对值的对数。
• 后面板三同轴输入。三同轴输入确保最优的噪声保护。其包括的Triax-BNC适 配器，允许在不太介意噪声的现场部署便宜易用的BNC电缆。
技术指标适用的条件
本文介绍了6482型双通道皮安表/电压源的技术指标和补充说明。这些技术指标是测试6482型双通道皮安表/ 电压源依据的标准。在出厂时，6482型双通道皮安表/电压源符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范 围内，适用于23°C，仅用作有效信息。
精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。
6482型仪表提供两个独立的皮安表/电压源通道，适合多种测量应用。在6482型仪表的背板上包括每个通道 的模拟输出插孔。
这些源和测量精度在下列条件下适用于6482型终端。
1. 23°C ±5°C，相对湿度<70%
2. 经过1小时的预热
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 启用A/D自动调零
5. 归零局部操作
6. 校准周期=1年
测量技术指标1
| 量程 | 最高分辨率 | 精度 1, 2 23° ±5°C ±(% rdg +补偿) | 温度系数 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 补偿)/°C | 直流输入 阻抗 3 （最大值） |
| 2.000000 nA | 1 fA | 1.00% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 20.00000 nA | 10 fA | 0.40% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 200.0000 nA | 100 fA | 0.30% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 2.000000 µA | 1 pA | 0.20% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 20.00000 µA | 10 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 200.0000 µA | 100 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 2.000000 mA | 1 nA | 0.10% + 2 µA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
| 20.00000 mA | 10 nA20.00000 mA | 0.10% + 2 µA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
电压偏移技术指标
| 量程 | 分辨率 | 精度 23°C ±5°C | 最大电流 | 负载调整率4 | 温度系数 |
| ±10 V | <400 µV | ±(设置的0.15% + 5 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 150 ppm/°C |
| ±30 V | <4 mV | ±(设置的0.3% + 50 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 300 ppm/°C |
模拟输出技术指标
输出电压量程(输出是反相的) 2: 对于正满量程输入，电压输出量程为–10V；对于负满量程输入，电压输出 量程为+10V。
输出阻抗: 1kΩ（典型值）
| 量程 | 精度 23° ±5°C ±(% rdg +补偿) | 温度系数 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 补偿)/°C | 典型上升时间 (10% to 90%) |
| 2.000000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 7 mV | 6.1 ms |
| 20.00000 nA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 700 µV | 6.1 ms |
| 200.0000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 395 µs |
| 2.000000 µA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 395 µs |
| 20.00000 µA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 135 µs |
| 200.0000 µA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 135 µs |
| 2.000000 mA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 21 µs |
| 20.00000 mA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 21 µs |
典型本底噪声测量的技术指标
| 典型本底噪声 RMS (1 STDEV), 100个样本 | ||||
| 量程 | 0.01 NPLC | 0.1 NPLC | 1.0 NPLC | 10 NPLC |
| 2.000000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 20.00000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 200.0000 nA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 2.000000 µA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 20.00000 µA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 200.0000 µA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 2.000000 mA | 2 µA | 1.5 µA | 25 nA | 5 nA |
| 20.00000 mA | 2 µA | 1.5 µA | 25 nA | 5 nA |
典型速度与噪声抑制
| 读数/秒 | ||||
| 分辨率 | GPIB(SCPI) | GPIB(488.1) | NPLC | NMRR |
| 4位半 | 700 | 900 | 0.01 | — |
| 5位半 | 60 | 475 | 0.1 | — |
| 6位半 | 58 | 58 | 1 | 60 dB |
公共指标
源电容：稳定至10.0nF (典型值)。
输入偏置电流5：50fA（最大值）@ 23°C。
输入电压负担6：4.0mV（最大值）。
电压源斜率：3.0ms/V (典型值)。
共模电压：200VDC。
共模隔离度：典型值109Ω并联150nF。
过量程：测量量程的105%。
内存缓冲：6000读数 (2个3000点缓存)。包括 选定的测量值和时标。
可编程性：IEEE-488.2, RS-232, 用户定义的5个 上电状态，外加工厂默认设置和*RST。
输出启动接头：
输出启动：有源低输入。
输入线：SOT (测试开始) 触发输入。
电源：100V, 120V, 220V, 240V (±10%), 50Hz 或60Hz, 50VA（最大值）。
保质期：1年。
EMC：符合欧盟电磁兼容（EMC）指令。
震动：MIL-T-28800F random class 3。
安全性：符合欧盟低压电器指令。
预热：1小时到相关精度。
尺寸：
机架安装：89mm 高 × 213mm 宽 × 370mm 深(3.5 in. × 8.4 in. × 14.6 in.)
台式配置(带手柄和脚): 104mm高 × 238mm 宽× 370mm 深 (4.1 in. × 9.4 in.× 14.6 in.)
重量：23.1kg (10.5 lb.)
工作环境：仅限于室内。
海拔：高于海平面最大2000米(6562 ft)。
工作：温度0°–50°C；相对湿度70% R.H.（最高35°C），在35°–50°C，相对 湿度降低3%/°C。
存储：–25°C 到 65°C。
注
1. 速度= 正常 (1.0 NPLC)，筛选。
2. 1年。
3. 在满量程(以及零)输入电流情况下，测量DVin/ΔIin。
4. 在满量程(20mA) 以及零负载电流情况下，测量DVin/ΔIin。
5. 根据设计确定技术指标。
6. 在满量程(20mA) 以及零输入电流情况下，在输入三同轴接头处进行测量。
泰克Keithley 6400 系列皮安表