泰克2606B 高密度 SourceMeter® SMU 仪器

泰克2606B 高密度 SourceMeter® SMU 仪器

2606B 高密度系统 SourceMeter (SMU) 仪器在 1U 高的机箱中提供四条 20 瓦 SMU 通道。由于制造商需要优化占地空间并减少测试时间和成本，2606B 将密度提高 3 倍、提高吞吐量并尽量减少增加测试设备机架的需求。此 SMU 为测试激光二极管、LED、2 和 3 端子半导体等生产的理想解决方案。

2606B 系统源表源测量单元(SMU) 仪器在一个外形1U 高的机箱中集成了四个20W SMU 通道。2606B 基于 吉时利第三代SMU 技术，在一台紧密集成的仪器中， 同时融合了精密电源、真实电流源、6 位半DMM、任 意波形发生器和脉冲发生器的功能。其提供了强大的 解决方案，明显提升了测试效率，可以满足苛刻的光 电器件自动检定和生产测试需求，比如3D 传感和光通 信中使用的VCSEL/ 激光二极管、消费品和汽车中使用 的LED 以及模拟IC、ASIC 和片上系统(SOC) 器件等 集成器件。在要求高SMU 通道数时，多台2606B 仪 器可以相互堆叠，在仪器之间不需要散热空间。基于 网络浏览器的内置软件可以通过任何电脑，从世界上 任何地方与2606B 通信。对自动系统应用，2606B 的 测试脚本处理器(TSP®) 技术从仪器内部运行整个测试 程序，实现业内最好的吞吐量。在大型多通道应用中， 吉时利的TSP-Link® 技术与TSP 技术相结合，实现了 高速SMU-per-pin 并行测试。在使用于新应用时， 每台2606B SMU 的代码都能兼容行业领先的Keithley 2602B 系统源表SMU 仪器。

主要特点:

• 在一个 1U全机架机箱中实现 4 通道 SMU 仪器

• 可堆叠，仪器之间没有 1U间隔要求

• 紧密集成的电压/电流源和测量仪器，6位半分辨率，提供同类最佳的性能

• 20 V @ 1 A 和 6 V @ 3 A 功率包络，20 W

• 0.015% DCV基本准确度

• 高达 28个开路漏极数字 I/O 口

• 测试结果与 2602B系统源表 SMU 仪器一致

• TSP 技术把整个测试程序嵌入仪器内部，实现了同类最佳的系统级吞吐量

• TSP-Link扩展技术，实现多通道并行测试，无需主机

• 前面板LAN (LXI-C)、USB 2.0 TMC488协议和数字I/O 接口

• 基于网络浏览器的内置软件，通过任何浏览器，从世界上任何地方任何电脑实现远程控制

TSP 技术，实现自动测试及无可比拟的吞吐量

对需要最高程度的自动化和吞吐量的测试应用，2606B 的TSP 技术提供了业界最好的性能。TSP 技术远远 超越传统测试命令序列，它把整个测试程序全面嵌入 SMU 仪器中，然后从SMU 仪器内部执行整个测试程序。 这几乎消除了总线与PC 控制器之间耗时的通信，从而 明显改善了整个测试时间。

TSP 技术从2606B 非易失性内存中执行整个测试程序。

TSP-Link 技术，SMU-per-pin 并行测试

TSP-Link 是一种通道扩展总线，可以让多台Series 2606B 实现互连，或与支持TSP 的其他吉时利仪器连接起来，作为 一个紧密同步的多通道系统操作。2606B 的TSP-Link 技术 与其TSP 技术一起运行，支持高速SMU-per-pin 并行测试。 与其他高速解决方案（如大型ATE 系统）不同，2606B 实现 了并行测试性能，而没有主机的成本或负担。基于TSP-Link 的系统还实现了杰出的灵活性，在测试要求变化时可以快速 简便地重新配置系统。

TSP-Link 系统中的所有通道均同步到500 ns 以下。

采用TSP 和TSP-Link 技术执行SMU-per-pin 并行或多管 脚器件测试，改善测试吞吐量，降低测试成本。

典型应用

对各种器件进行I-V 功能测试和表征，包括：

• 光电器件
  - 垂直腔表面发射激光器(VCSELs)，激光二极管( 用于3D 传感系统上)
  - 高亮度(HBLEDs)， 发光二极管(LEDs)
  - 显示器

• 集成器件，小规模集成 (SSI) 和大规模集成(LSI)
  - 模拟ICs
  - 射频集成电路(RFICs)
  - 特定应用集成电路(ASICs)
  - 片上系统(SOC) 器件

• 分立器件和无源器件
  -两端口传感器，磁盘头，金属氧化 压敏电阻 (MOVs)，二极管，齐纳二 极管，传感器，电容器，热阻器
  - 三端口小信号双极晶体管 (BJTs)， 场效晶体管 (FETs) 等等

• 简单的ICs光器件，驱动器，开关， 传感器，转换器，稳压器

2606B SMU 仪器可以简便地安放和堆叠在机架系统中，轨道 最小深度仅27 英寸(0.686 米)。

第三代SMU 仪器设计，确保更快的测试时间

在Series 2600B 仪器经过验证的架构基础上，2606B 的 SMU 仪器设计通过多种方式加强了测试速度。例如，2606B 采用已获专利的系列量程拓扑，提供更快、更平滑的范围变 化和输出，其稳定速度要更快。
2606B SMU 仪器设计支持两种运行模式，可以用于各种负载。 在正常模式下，SMU 仪器提供了高带宽性能，实现最大吞吐 量。在高电容(high-C) 模式下，SMU 仪器采用较慢的带宽， 提供强健的性能及更高的容性负载。

技术数据条件

本文包含着2606B 系统源表仪器的技术数据和补充信息。技术数据是2606B 仪器的检测标准。在出厂时，2606B 仪器均满足 这些技术数据。补充数据和典型值是没有保障的值，应用温度为23℃，只作为实用信息使用。技术数据适用于各个模块。

源和测量准确度针对2606B 端子的条件如下：
1. 23℃ ±5℃ ,<70% 相对湿度
2. 在预热两个小时之后
3. 正常速度(1 NPLC)
4. 启动模数转换自动清零
5. 远端四线操作或正确清零后的两线操作
6. 校准周期：一年

DC 电源技术数据

电压准确度指标3, 4

注：
1. 如需各种负载和温度条件的其他功率额定值下降信息，请参阅Series 2606B 参考手册中的“功率范围”。
2. 系统源表支持第二象限和第三象限操作，但主要目标是低功率或短瞬态行为。第二象限和第三象限操作可能会导致温度过高错误。
3. 对0℃ ~ 18℃和28℃ ~ 50℃温度，准确度劣化±(0.15 × 准确度指标)/℃。
4. HI 引线每下跌1V，源准确度指标加50 μV。

电流准确度指标3

补充特点

以下指标是补充特点，提供了与仪器功能和性能有关的进一步信息。这些特点指标没有保障，描述了2606B 的典型性能。

其他源特点

噪声
10 Hz ~ 20 MHz < 20 mV 峰峰值, < 3 mV RMS, 6 V 范围
最小可编程脉宽 6, 7
100ms
注：I/V 输出和负载一定时，稳定源的最小脉宽可能会长于100 ms。

注：
3. 对0℃ ~ 18℃和28℃ ~ 50℃温度，准确度劣化±(0.15 × 准确度指标)/℃。
5. 通过提高误差项，NPLC 设置<1 的准确度指标会下降。使用下表，为阻性负载增加读取项的相应百分比。

6. 从脉冲开始到结束的时间，参见下图。

7. 源稳定设置成SETTLE_SMOOTH_100NA。

产品技术资料

• 脉宽编程分辨率

• 1μs

• 脉宽编程准确度

• ±5μs

• 脉宽抖动

• 2μs

• 瞬态响应时间

• 对负载10% ~ 90% 步长变化，输出恢复到0.1% 以内为<70ms。

• 过冲

• 电压: <±0.1% 的范围 + 10 mV。步长 = 10% ~ 90% 的范围，阻性负载，最大电流极 限/ 一致性。
  电流: <±0.1% 的范围。步长 = 10% ~ 90% 的范围，阻性负载。参见电流源输出稳定时 间，了解其他测试条件。

• 量程变化过冲

• 电压:<300 mV + 0.1% 的更大范围。100 kW 负载过冲，20 MHz 带宽。
  电流7:<300 mV/R 负载+ 5% 的较大范围

• 保护偏置电压

• <4 mV, 电流<10 mA

• 远端四线工作范围8

• HI 和SENSE HI 之间的最大电压= 3 V
  LO 和SENSE LO 之间的最大电压 = 3 V

• 最大输出电压

• 20 V 范围: 最大输出电压 = 22 V - ( 经过源引线的总电压下跌)。最大1W 源引线。
  6 V 范围: 最大输出电压 = 8 V - ( 经过源引线的总电压下跌)。最大1W 源引线。

• 温度过高保护

• 内部传感温度过载时，会把仪器置于待机模式。

• 极限/ 一致性

• 双极极限( 一致性) 使用一个值设置。
  电压: 最小值是10 mV；准确度与电压源相同。
  电流: 最小值是10 nA；准确度与电流源相同。

• 电压源输出稳定时间

• 在固定范围上处理源电平命令后达到最终值0.1% 内要求的时间。

  电压范围	稳定时间
  100mV	< 50μs
  1 V	< 50μs
  10 V	< 110μs
  20 V 9	< 150μs

• 电压源输出稳定时间

• 在固定范围上处理源电平命令后达到最终值0.1% 内要求的时间。

  电流范围	稳定时间
  3 A	< 80μs ( 电流 < 2.5 A, R 负载 > 2W)
  1 A ~10mA	< 80μs (R 负载 > 6W)
  1μA	< 100μs
  100 μA	< 150μs
  10 μA	< 500μs
  1 μA	< 2ms
  100 nA	< 20ms

注：
7. 源稳定设置成SETTLE_SMOOTH_100NA
8. 每伏特HI 引线下跌在源准确度指标中增加50μV。
9. 在1 A 范围上测量时增加150μs。

其他测量特点

• 电流测量稳定时间 10

• 在固定量程上到达设置值 0.1% 内的时间。下面的值适用于 Vout = 1 V。

  电流范围	稳定时间
  1 mA	< 100μs

• 输入阻抗

• > 10 GΩ

其他特点

• 最大负载阻抗

• 正常模式 10 nF。高电容模式 50 μF。

• 共模电压

• 250 VDC

• 共模隔离度

• >1 Gμ, < 4500 pF

• 传感高输入阻抗

• >10 Gμ

• 最大传感引线电阻

• 对额定准确度为 1 kμ

• 这量程

• 源范围的 101%。测量范围的 102%。

测量速度特点 11, 12

最大扫描操作速率 ( 每秒操作次数 )，60 Hz (50 Hz)

注： 10. 一致性测试等于 100 mA。
11. 使用下述设备执行测试：电脑硬件— Intel® CoreTM i7, 2.90 GHz, 8 GB RAM；软件 — Microsoft® Windows® 10 Enterprise 64 位 , Microsoft® Visual Studio® 2010, VISATM 第 5.8 版。
12. 不包括<1 mA 的电流测量范围。

最大单次测量速率 ( 每秒操作次数 )，60 Hz (50 Hz)

• 最大测量范围变化速率

• >7000 次 / 秒，>10μA。在变到或从范围≥ 1 A 变化时，最大速率是 >2200 次 / 秒

• 最大源范围变化速率

• >400 次 / 秒，>10μA。在变到或从范围≥ 1 A 变化时，最大速率是 >190 次 / 秒。

• 最大源功能变化速率

• >>1000 次 / 秒

• 命令处理时间

• <1 ms。在收到 smua.source.levelv 或 smua.source.leveli com 命令后，输出开始变化要求的最大时间。

触发和同步特点

触发

触发输入到触发输出 0.5μs
触发输入到源变化13 10μs
触发定时器准确度 ±2μs
LXI 触发后源变化 280μs

同步

多节点同步源变化13 < 0.5μs
单节点同步源变化13 < 0.5μs
注： 13. 固定源范围，极性无变化。

补充信息

编程

可以从任何主机接口访问嵌入式测试脚本处理器 (TSP®) 脚本引擎： 对单条仪器控制命令作出响应对高速测试脚本作出响应，包括远程命令和测试脚本语言 (TSL) 语句 ( 如分支、循环和数学 ) 能够执行内存中存储的高速测试脚本，而不需主机干预

可用的最小内存

16 MB ( 约 250,000 行 TSP 代码 )

Test Script Builder( 测试脚本构建程序 )

用来构建、运行和管理 TSP 脚本的集成开发环境，包括一个仪器控制台，用来与支持 TSP 的任何仪器交互通信。如需了解要求，请参阅 Test Script Builder 文档资料，具体参见：tek.com/keithley。

软件界面

使用 Microsoft® Visual Basic®, Visual C/C++®, Visual C#®, LabVIEWTM, CEC TestPointTM数据采集软件包 , NI LabWindowsTM/CVI 等进行读 / 写。

读取缓冲器

非易失性内存使用为测量数据预留的专用存储区域。读取缓冲器是由测量单元组成的阵列。每个单元可以存储以下项目：
测量
源设置 ( 在获取测量数据时 )
测量状态
范围信息
时间标记
可以使用前面板 STORE 密钥填充读取缓冲器，使用 RECALL 密钥或主机接口进行检索。

缓冲器容量，有时间标记和源设置时 >60,000 个样点

缓冲器容量，没有时间标记和源设置时 >140,000 个样点

系统扩容

TSP-Link 扩展接口允许支持 TSP 的仪器触发及相互通信。参见下表。

2606B 有四个 TSP-Link 连接器 ( 每个模块上两个 )，可以更简便地顺序连接多台仪器。 源测量仪器一旦通过 TSP-Link 扩展接口互连，那么电脑可以通过任何系统源表的主机接口访问每台源测量仪器的所有资源。 最多可以互连 32 个 TSP-Link 节点。每个源测量模块使用一个 TSP-Link 节点。

定时

定时器: 自由运行 47 位计数器，带有 1 MHz 时钟输入。每次在仪器开机时都会复位。如果仪器没有开机，定时器会每四年一次自动复位为零 (0)。
时间标记: 在每次触发测量时会自动保存 TIMER 值。
分辨率: 1μs
时间标记准确度: ±100 ppm

整体技术数据

以太网 RJ-45 连接器 , LXI 第 1.4 版 Core 2011, 10/100BaseT, Auto-MDIX
LXI 标准
LXI 第 1.4 版 Core 2011
扩展接口
TSP-Link® 扩展接口允许支持 TSP 的仪器触发及相互通信。
电缆类型：超五类或以上的局域网交叉电缆。
支持 TSP 的每台仪器之间最远 9.84 英尺 (3 米 )。
USB 控制
USB 2.0 设备 : USB-TMC488 协议
USB 文件系统
USB 2.0 主控 : 海量存储级设备
电源
100 VAC ~ 240 VAC, 50 Hz 或 60 Hz ( 自动传感 ), 425 VA 最大值
冷却
强制通风；前面和侧面进风，后面出风
保修:一年
EMC
满足欧盟 EMC 指令
安全
NRTL 列入 UL61010-1 和 CSA C22.2 No 61010-1。满足欧盟低压指令。
环境
仅用于室内
高度 : 最高海拔 6562 英尺 (2000 米 )。
工作时：0℃ ~ 50℃。35℃以下时 70% 相对湿度，35℃ ~ 50℃时相对湿度每° C 下降 3%。
贮存：-25℃ ~ 65℃
外观尺寸
机架安装：1.7 英寸高 × 19 英寸宽 × 26.8 英寸深 (44 mm × 483 mm × 680 mm)
重量
13.6 公斤 (30 磅 )
数字 I/O 接口

连接器 : 25 针孔式 D 型连接件
输入 / 输出针 : 14 个开路漏极 I/O 位
绝对最大输入电压 : 5.25 V
绝对最小输入电压 : -0.25 V
最大逻辑低输入电压 : 0.7 V, +850μA 最大值
最小逻辑高输入电压 : 2.1 V, +570μA
最大源电流 ( 流出数字 I/O 位 ): +960μA
最大逻辑低电压 (0.7 V) 时的最大吸收电流 : -5.0 mA
绝对最大吸收电流 ( 流入数字 I/O 针 ): -11 mA
5 V 电源针 : 限于 250 mA, 固态熔丝保护
输出启用 : 使用 10 k 电阻器在内部把活动高输入牵引到接地；在激活输出启用输入功能时，每条源表通道不会打开，除非输出启用针驱动到 >2.1 V ( 标称电流 = 2.1 V / 10 k = 210μA)。

订货信息

2606B: 4 通道系统源表 SMU 仪器

随机所带附件

操作人员手册和编程手册

• CA-180-16

• 局域网交叉电缆 , 0.41 米 (16 英寸 ) ( 带有两条 )

• 174710700

• 屏蔽五类交叉电缆 , 用于 TSP-Link 和直接以太网连接 , 1.5 m (5 英尺 )

• CA-568

• 绿色和黄色接地电缆 , 3 m (120 英寸 )

• 2600-KIT

• 8 针定制电缆连接器 , 电缆盒 , 应力减缓装置 ( 带有 4 个 )

• 7709-308A

• 25 针 D-shell 连接器套件 ( 用于数字 I/O 端口 ) ( 带有 2 个 )

• 4299-13

• 1U 固定机架安装套件 ( 要求轨道深度最低 0.686m (27 英寸 ))

• 电源线

• 视不同国家而定

• Test Script Builder 软件

• ( 下载网址：www.tek.com)

• LabVIEW 驱动程序

• ( 下载网址：www.tek.com)

• 用户手册

• ( 下载网址：www.tek.com)

选配附件

电缆和连接器

• 2600-BAN

• 香蕉头测试电缆 / 转接头电缆

• 2600-KIT

• 额外的螺丝接线片连接器 , 应力减缓装置 , 保护罩

• 2600-FIX-TRIAX

• Phoenix 到三同轴转接头 , 用于 2 线传感

• 2600-TRIAX

• Phoenix 到三同轴转接头 , 用于 4 线传感

• 7078-TRX-*

• 3 插槽低噪声三同轴电缆 , 0.3 m-6.1 m。用于 2600-TRIAX 转接头 * = 1, 3, 5, 10, 12, 20 ( 分别用于 0.3 m, 0.9 m, 1.5 m, 3.0 m, 3.5 m, 6.0 m)

• 7078-TRX-GND

• 3 插槽针式三同轴到 BNC 转接头 ( 去掉保护 )

• 7709-308A

• 数字 I/O 连接器 ( 视具体型号而定 )

• 8606

• 高性能模块化探头套件 , 用于 2600B-BAN

数字 I/O、Trigger Link 和 TSP-Link

• 2600-TLINK

• 数字 I/O 到 TLINK 转接头电缆 , 1 m

• CA-126-1A

• 数字 I/O 和触发电缆 , 1.5 m

• 174710700

• 屏蔽五类交叉电缆 , 用于 TSP-Link 和直接以太网连接 , 1.5 m (5 英尺 )

可选服务

延保

• 2606B-EW

• 把 1 年出厂保修延至 2 年

• 2606B-3Y-EW

• 把 1 年出厂保修延至 3 年

• 2606B-5Y-EW

• 把 1 年出厂保修延至 5 年

校准合同

• C/2606B-3Y-STD

• 三年内校准三次

• C/2606B-5Y-STD

• 五年内校准五次

• C/2606B-3Y-DATA

• 三年内校准三次，包括调节前和调节后的校准数据C/2606B-5Y-DATA 五年内校准五次，包括调节前和调节后的校准数据C/2606B-3Y-17025 三年内进行三次 IS0-17025 认可的校准

• C/2606B-5Y-17025

• 五年内进行五次 IS0-17025 认可的校准

保修信息

• 保修摘要

• 本节概括介绍了 Series 2606B 保修。如需完整的保修信息，请参阅 Series 2606B 参考手册。非吉时利制造的任何产品部分均不享受本保修，吉时利没有义务为任何其他制造商提供保修。

• 硬件保修

• 吉时利仪器公司保证，吉时利制造的硬件部分一年内在材料或工艺上没有缺陷，前提是这类缺陷不是因为未根据硬件说明使用吉时利硬件而引起的。此担保不适用于客户对吉时利硬件所作的任何修改，或在环境指标之外运行硬件。

• 软件保修

• 吉时利保证，吉时利生产的软件或固件部分在90 天内在所有材料方面均满足公布的技术数据， 前提是该软件根据软件说明用于预计的产品上。吉时利不保证软件操作不会中断或没有错误， 也不保证软件足以满足客户的预计应用。此担保不适用于客户对该软件所作的任何修改。

泰克2606B 高密度 SourceMeter® SMU 仪器